Substances clés de la photorésiste-photoacid generator (PAG)-CAD Note d'application du détecteur
trifluorobutyl sulfonate

1, Préface

La lithographie est le circuit intégré (IC) est un processus clé dans la fabrication, occupant le processus de fabrication des puces 40%–50% cours du temps. Dans le processus de photolithographie, non seulement une machine de photolithographie est nécessaire, mais également un matériau clé : la résine photosensible. La résine photosensible est l'un des matériaux les plus critiques dans l'industrie des semi-conducteurs. Dans l'ensemble du processus de fabrication des circuits intégrés, le processus de photolithographie représente environ 35% du coût total de fabrication des puces, constitue le processus central de la fabrication des semi-conducteurs.

Le photorésist est un mélange complexe, composé principalement de solvants organiques, de résines polymères,photoacid generator (PAG)(PAG), composition additive. Parmi eux photoacid generator (PAG) C'est un composant clé du photorésist et joue un rôle décisif dans la sensibilité et la résolution du photorésist.photoacid generator (PAG) Le contrôle de la pureté et des impuretés a un impact important sur le rendement de la résine photosensible et des produits semi-conducteurs entiers. photoacid generator (PAG) Les composants communs sont la partie cationique du sulfure de triphényle et la partie anionique du polyfluorosulfonate, et la partie anionique n'a fondamentalement pas UV absorption.détecteur d’aérosols chargés (CAD) Ne dépend pas de composés pour être optiquement actifs et peut être utilisé comme contrôle photoacid generator (PAG) Détecteur idéal pour la qualité.

Cette demande doit être basée sur trifluorobutyl sulfonate Par exemple, explorez CAD Oui photoacid generator (PAG) faisabilité du contrôle qualité.

détecteur d’aérosols chargés (CAD)(détecteur d'aérosol chargé,CAD) est un nouveau détecteur à usage général développé ces dernières années. Sa détection n'a rien à voir avec la structure moléculaire de la substance mesurée, et la substance mesurée n'a pas besoin d'être ionisée. Il peut être utilisé à condition que la substance mesurée soit un composé semi-volatil ou non volatil.CAD détection. En même temps,CAD C'est un détecteur sensible à la masse. La valeur de réponse de la substance mesurée est déterminée par la masse absolue du Échantillon en cours de test. Tant que la masse absolue du Échantillon étant testé est cohérent, la valeur de réponse mesurée sera fondamentalement la même, et une limite de détection inférieure et une sensibilité plus élevée peuvent être obtenues.

détecteur d’aérosols chargés (CAD) Oui INSTRUMAX L'équipe R&D a réalisé des réalisations scientifiques et technologiques majeures après des années de recherche minutieuse et d'expériences répétées. Le détecteur utilise une technologie avancée d'électricité et d'atomisation pour obtenir une détection de trace de haute sensibilité et de haute précision. Échantillon s.

2, Instruments et matériaux

Instruments:Agilent1200 chromatographe liquide+détecteur d’aérosols chargés (CAD)(INSTRUMAX, Modèle : CADetector a1)

Réactifs: eau pure (eau distillée Watson), acétonitrile (qualité chromatographie), acide formique (qualité analytique)

Échantillon: trifluorobutanesulfonate de triphénylsulfonium.

3, méthodes et résultats

3.1 Conditions chromatographiques

Colonne: InfinityLab Poroshell 120 EC-C18 Température de colonne:55℃

Débit:0.4mL/min Volume injecté :5μL

Phase mobile R : 0.2%Solution aqueuse d'acide formique Phase mobile B : acétonitrile

Élution par gradient

CAD Conditions :

Instrument modèle :INSTRUMAX CADetector a1

Température du tube de dérive :40℃

Débit d'air atomisé :3L/min

Courant de polarisation :1μA

Flux d'air polarisé :1L/min

3.2 Échantillon préparation

Diluant : méthanol, méthanol-eau (1:1)

Préparation de liqueur mère de trifluorobutanesulfonate de triphénylsulfonium 2000 µg/mL, dissous dans une solution de méthanol pur.

Utilisez du méthanol-eau (1:1) La solution est diluée étape par étape pour préparer la liqueur mère avec des concentrations de 1,2,5,10,100 et 1000 µg/mL série de solutions.

3.3 Résultats expérimentaux

3.3.1 Applicabilité de la méthode

Dans les conditions de cette méthode, le temps de rétention des anions et des cations est approprié, et la résolution, la forme du pic et la réponse du pic sont toutes bonnes.

3.3.2 sensibilité de la méthode

1 µg/mL Échantillon, injection 5μL; Le sulfure de triphényle répond bien, avec un rapport signal/bruit de 1097.4(ASTM loi);trifluorobutyl sulfonate Bonne réponse, rapport signal/bruit 122.9(ASTM loi)

3.3.3 Répétabilité

continu 6 Répétabilité de l'aiguille, zone de pic du sulfure de triphényle RSD% est 0.880;trifluorobutyl sulfonate Surface de pointe RSD% est 1.222%, le tout à moins de 2.0%, indiquant que la méthode a une bonne répétabilité.

3.3.4 Linéaire

1~1000 µg/mL concentration, le coefficient de corrélation R du sulfure de triphényle est 0.99995;trifluorobutyl sulfonate Le coefficient de corrélation R est 0.99976, bonne linéarité et large plage linéaire.

4, conclusion expérimentale

Cet article adopte HPLC-CAD paire de méthodes photoacid generator (PAG) Analyser les anions dans le Échantillon. Cette solution présente une sensibilité élevée, une bonne séparation et répétabilité des ions, ainsi qu'une large plage linéaire. Il peut être utilisé comme photoacid generator (PAG) méthode d’évaluation.

HPLC-CAD La méthode est simple à utiliser, hautement spécifique et très sensible, et peut être utilisée comme photoacid generator (PAG) Contrôle qualité et évaluation des méthodes.