Schlüsselsubstanzen des Fotolacks-photoacid generator (PAG)-CAD Anwendungshinweis für Detektoren
trifluorobutyl sulfonate

1, Vorwort

Lithographie ist der integrierte Schaltkreis (IC) ist ein Schlüsselprozess in der Fertigung und beschäftigt sich mit dem Chipherstellungsprozess 40%–50% Zeitverlauf. Für den Fotolithographieprozess wird nicht nur eine Fotolithographiemaschine benötigt, sondern auch ein Schlüsselmaterial – Fotolack. Fotolack ist eines der kritischsten Materialien in der Halbleiterindustrie. Im gesamten Herstellungsprozess integrierter Schaltkreise macht der Fotolithografieprozess ungefähr aus 35% der gesamten Chipherstellungskosten ist der Kernprozess in der Halbleiterfertigung.

Fotolack ist eine komplexe Mischung, die hauptsächlich aus organischen Lösungsmitteln, Polymerharzen,photoacid generator (PAG)(PAG), Additivzusammensetzung. Unter ihnen photoacid generator (PAG) Es ist ein Schlüsselbestandteil des Fotolacks und spielt eine entscheidende Rolle für die Empfindlichkeit und Auflösung des Fotolacks.photoacid generator (PAG) Die Reinheits- und Verunreinigungskontrolle hat einen wichtigen Einfluss auf die Ausbeute von Fotolack und gesamten Halbleiterprodukten. photoacid generator (PAG) Die gemeinsamen Komponenten sind der kationische Teil von Triphenylsulfid und der anionische Teil von Polyfluorsulfonat, und der anionische Teil hat grundsätzlich keine UV Absorption.Charged-Aerosol-Detektor (CAD) Um optisch aktiv zu sein, ist es nicht auf Verbindungen angewiesen und kann als Kontrolle verwendet werden photoacid generator (PAG) Idealer Detektor für Qualität.

Dieser Antrag sollte basieren auf trifluorobutyl sulfonate Erkunden Sie zum Beispiel CAD Ja photoacid generator (PAG) Durchführbarkeit der Qualitätskontrolle.

Charged-Aerosol-Detektor (CAD)(Detektor für geladene Aerosole,CAD) ist ein neuer Allzweckdetektor, der in den letzten Jahren entwickelt wurde. Sein Nachweis hat nichts mit der molekularen Struktur der zu messenden Substanz zu tun, und die zu messende Substanz muss nicht ionisiert werden. Es kann verwendet werden, solange es sich bei der zu messenden Substanz um eine halbflüchtige oder nichtflüchtige Verbindung handelt.CAD Erkennung. Gleichzeitig,CAD Es handelt sich um einen massenempfindlichen Detektor. Der Ansprechwert des gemessenen Stoffes wird durch die absolute Masse des gemessenen Stoffes bestimmt Probe getestet wird. Solange die absolute Masse der Probe Wenn der getestete Wert konsistent ist, ist der gemessene Ansprechwert im Wesentlichen derselbe und es können eine niedrigere Nachweisgrenze und eine höhere Empfindlichkeit erzielt werden.

Charged-Aerosol-Detektor (CAD) Ja INSTRUMAX Das Forschungs- und Entwicklungsteam hat nach Jahren sorgfältiger Forschung und wiederholter Experimente große wissenschaftliche und technologische Errungenschaften erzielt. Der Detektor nutzt fortschrittliche Elektrizitäts- und Zerstäubungstechnologie, um eine hochempfindliche und hochpräzise Spurenerkennung zu erreichen Probe s.

2, Instrumente und Materialien

Instrumente:Agilent1200 Flüssigchromatograph+Charged-Aerosol-Detektor (CAD)(INSTRUMAX, Modell: CADetector a1)

Reagenzien: reines Wasser (Watson's destilliertes Wasser), Acetonitril (Chromatographiequalität), Ameisensäure (Analysequalität)

Probe: Triphenylsulfoniumtrifluorbutansulfonat.

3, Methoden und Ergebnisse

3.1 Chromatographische Bedingungen

Säule: InfinityLab Poroshell 120 EC-C18 Säulentemperatur:55℃

Flussrate:0.4mL/min Injektionsvolumen:5μL

Mobile Phase A: 0.2%Wässrige Ameisensäurelösung Mobile Phase B: Acetonitril

Gradientenelution

CAD Bedingungen:

Instrument Modell:INSTRUMAX CADetector a1

Driftrohrtemperatur:40℃

Zerstäubter Luftstrom:3L/min

Polarisationsstrom:1μA

Polarisierter Luftstrom:1L/min

3.2 Probe Vorbereitung

Verdünner: Methanol, Methanol-Wasser (1:1)

Herstellung von Triphenylsulfoniumtrifluorbutansulfonat-Mutterlauge 2000 µg/mL, gelöst in reiner Methanollösung.

Verwenden Sie Methanol-Wasser (1:1) Die Lösung wird Schritt für Schritt verdünnt, um die Mutterlauge mit Konzentrationen von herzustellen 1,2,5,10,100 und 1000 µg/mL Reihe von Lösungen.

3.3 Versuchsergebnisse

3.3.1 Anwendbarkeit der Methode

Unter den Bedingungen dieser Methode ist die Retentionszeit von Anionen und Kationen geeignet und die Auflösung, Peakform und Peakreaktion sind alle gut.

3.3.2 Methodenempfindlichkeit

1 µg/mL Probe, Injektion 5μL; Triphenylsulfid reagiert gut mit einem Signal-Rausch-Verhältnis von 1097.4(ASTM Recht);trifluorobutyl sulfonate Gute Ansprache, Signal-Rausch-Verhältnis 122.9(ASTM Gesetz)

3.3.3 Wiederholbarkeit

kontinuierlich 6 Nadelwiederholbarkeit, Triphenylsulfid-Peakfläche RSD% ist 0.880;trifluorobutyl sulfonate Gipfelgebiet RSD% ist 1.222%, alles weniger als 2.0%, was darauf hinweist, dass die Methode eine gute Wiederholbarkeit aufweist.

3.3.4 Linear

1~1000 µg/mL Konzentration ist der Triphenylsulfid-Korrelationskoeffizient R 0.99995;trifluorobutyl sulfonate Der Korrelationskoeffizient R ist 0.99976, gute Linearität und großer linearer Bereich.

4, experimentelle Schlussfolgerung

Dieser Artikel übernimmt HPLC-CAD Methodenpaar photoacid generator (PAG) Analysieren Sie die Anionen im Probe. Diese Lösung verfügt über eine hohe Empfindlichkeit, eine gute Ionentrennung und Wiederholbarkeit sowie einen großen linearen Bereich. Es kann verwendet werden als photoacid generator (PAG) Bewertungsmethode.

HPLC-CAD Die Methode ist einfach durchzuführen, hochspezifisch und hochempfindlich und kann als verwendet werden photoacid generator (PAG) Qualitätskontrolle und Methodenbewertung.